Техникалык параметрлери:
| пункт | Параметр |
| Сыноо диапазону | 0,01~6500(cc/㎡,24с) |
| Чечимдүүлүк катышы | 0,001 |
| Өткөмдүүлүк бетинин аянты | 50 c㎡(башкалары атайын жасалган болушу керек) |
| Микронуклеустун диаметрин өлчөө | 108*108мм |
| Үлгү калыңдыгы | <3 мм (коюураак аксессуарларды кошуу керек) |
| Үлгү саны | 1 |
| Сыноо режими | Көз карандысыз сенсор |
| Температура диапазону | 15℃ ~ 55℃ (температураны көзөмөлдөөчү аппарат өзүнчө сатып алынат) |
| Температураны көзөмөлдөө тактыгы | ±0,1℃ |
| Ташуучу газ | 99,999% жогорку таза азот (аба булагы колдонуучу) |
| Ташуучу газ агымы | 0~100 мл/мин |
| Аба булагы басымы | ≥0,2МПа |
| Интерфейстин өлчөмү | 1/8 дюймдук металл түтүк |
| Өлчөмдөр | 740мм (L)×415 мм (W)×430mm (H) |
| Voltage | AC 220V 50Hz |
| Таза салмак | 50кг |